Advances In Research And Development

Plasma Sources For Thin Film Deposition And Etching

Advances In Research And Development - 1
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Antigo livro de biblioteca. Edição 1994. Volume 18. Ammareal doa até 15% do valor líquido deste artigo para instituições de caridade.

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Resumo
Includes four chapters that discuss high-density plasma sources for materials processing, electron cyclotron resonance and its uses, unbalanced magnetron sputtering, and particle formation in thin film processing plasma.

Tema: Física

Tema: Física

Data de lançamento: Setembro De 1994

3,99 €
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Resumo

Includes four chapters that discuss high-density plasma sources for materials processing, electron cyclotron resonance and its uses, unbalanced magnetron sputtering, and particle formation in thin film processing plasma.

Tema: Física

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Data de lançamento: Setembro De 1994
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Advances In Research And Development

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Características

Editora

Elsevier Science Publishing Co Inc

Idiomas

Inglês

Número de páginas

328

Encadernação

Capa Dura / Hardback

Dimensão

229 x 152 x 21

Peso

717

Tema

Condensed matter physics (liquid state & solid state physics)|Plasma physics

Origem

United States

EAN

9780125330183

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